行业资讯 |
涡轮分子泵
利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子,使气体产生定向流动而抽气的真空泵。涡轮分子泵的优点是启动快,能抗各种射线的照射,耐大气冲击,无气体存储和解吸效应,无油蒸气污染或污染很少,能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器和高级电子器件制造等方面。
结构和工作原理 1956年,联邦德国的W.贝克首次提出有实用价值的涡轮分子泵,以后相继出现了 各种不同结构的分子泵,主要有立式和卧式两种,图2为立式涡轮分子泵的结构图。涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子(即动叶轮)、静叶轮和驱动系统等组成。动叶轮外缘的线速度高达气体分子热运动的速度(一般为150~400米/秒)。单个叶轮的压缩比很小,涡轮分子泵要由十多个动叶轮和静叶轮组成。动叶轮和静叶轮交替排列。动、静叶轮几何尺寸基本相同,但叶片倾斜角相反。图2为20个动叶轮组成的整体式转子。每两个动叶轮之间装一个静叶轮。静叶轮外缘用环固定并使动、静叶轮间保持1毫米左右的间隙,动叶轮可在静叶轮间自由旋转。
版权所有 北京信诚智尚技术有限公司 华中地区代理商:武汉华析科技有限公司
联系方式:(010)80711299 80715009 13501022256
京ICP备11038067号
技术支持:事事美网络
联系方式:(010)80711299 80715009 13501022256
京ICP备11038067号
技术支持:事事美网络